MEMS、化合物半導体、シリコン、パワー半導体、アナログ/ロジックデバイス、フォトニクスデバイス、PLPなど、幅広い半導体基板のウェットプロセス処理に豊富な実績を有しており、ユーザーのニーズに合わせた最適なカスタム装置を提供します。
また、薬液供給装置など各種付帯設備の設計、製造も承ります。

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